更新日： 集計期間:2025年11月19日～2025年12月16日
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半導体技術の基盤であるウエハを物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送！
半導体ウエハ搬送容器 SHIPPING BOXは、半導体技術の基盤であるウエハ（φ300mm～φ50mm）を物理的・化学的に安全かつクリーンに搬送します。半導体の製造工程及びその前後工程での保管・搬送にご利用頂けます。また、容器の材質はシリコンウエハのみならず化合物半導体、石英ガラス、セラミック等の各種ウエハにも対応可能です。変動の激しいＩＴ業界でＱＣＤともご満足戴き、その上、環境にも優しい搬送容器をご提供致します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
全ての軸にACサーボモーター採用。2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Aシリーズ】
自社製の主要部品を搭載。 すべての軸にACサーボモーターを採用しています。 繰返し精度は最大±0.1mmで、2-12インチウエハに対応。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
高精度＆高剛性！ 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
自社製DDモーターを採用し、高精度＆高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。
半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。
ジェーイーエルの製品総合カタログでは、円筒座標型クリーンロボットをはじめ、水平多関節型クリーンロボット、円筒座標型真空対応クリーンロボット等の各種搬送ロボット製品を多数掲載しております。 ３軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CS」は、スーパークリーンルーム用の製品です。半導体製造装置内、検査装置内のウエハ搬送用に適しています。装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプを選択することができ、動作モニターを装備しています。４軸水平多関節型クリーンロボット「GCR4000-PM」はスーパークリーンルーム用の多軸タイプです。300ｍｍ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しており、全軸アブソリュートエンコーダ付２相ステッピングモータを使用しています。S字加減速制御および動作軌跡最適化により、ウエハを高速・高精度で搬送します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSSCR3115Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループットの大幅な向上を実現、高速・低振動ダブルアーム真空ロボット
■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを採用し、ウエハ搬送ずれを防止 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レイアウトに対応するウエハ搬送ロボット
■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と スループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズ
小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット
繊細なプロセスが必要となる半導体用途に求められるロボットは、スーパークリーンルーム環境に適合しているだけでなく、 高い生産性を実現する信頼性の高さと精度が求められます。TX2 SCRシリーズはスーパークリーンルームでのキャリアの搬送、ウエハやマスクプロセスに多くの実績を持ちます。
自動充電と電飾急速交換をサポート！7×24Hの連続作業要求を満たします
『OW8』は、半導体FabにおけるSMIF PODフローの難題をワンストップで 解決する8インチウエハボックス搬送ロボットです。 レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション技術に基づいて、 室内±の繰り返し位置決め精度を実現し、各種設備と効果的にドッキング。 配置が容易で、複数協同作業でき、自主開発したYOUIFleet分散型知能 スケジューリングシステムに合わせ、顧客がロボットの大規模複数管理を 実現させます。 【特長】 ■8インチウエハボックス搬送 ■最大限の安全保護 ■8時間連続運転 ■レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション技術 ■配置が容易で、複数協同作業に対応 ■クリンルーム対応、低振動、帯電防止、半導体工場用に設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【～300ｍｍウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能！ 保護等級IP64を実現した防滴モデルのウエハ搬送ロボット
■保護等級IP64を実現。水分を扱うプロセスでの使用が可能な防滴モデル。 ■特殊な薬液に対応した表面コーティングにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型クリーンロボットSSCR2090Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ 電力線通信技術を搭載したウエハ搬送ロボット
■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
